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HAMAMATSU制造辅助系统

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主要产品:

1. 静电去除器:紫外真空电离器光电离

2. 膜厚测量系统

3. 孔洞检测单元

4. 射频(RF)放电型准分子灯

5. 紫外LED光源:紫外LED光源(线光源)紫外LED光源(点光源)


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