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HAMAMATSU制造辅助系统

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主要产品：

1. 静电去除器：紫外真空电离器光电离

2. 膜厚测量系统

3. 孔洞检测单元

4. 射频（RF）放电型准分子灯

5. 紫外LED光源：紫外LED光源（线光源）紫外LED光源（点光源）


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